Александр Курочка

 
»
»
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Александр Курочка, Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Аннотация.
Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках, в нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций.

Автор: Александр Курочка.
Жанр книги: Наука, обучение.
Объем: 142 стр.
Возрастное ограничение: 0+
Общее кол-во страниц: 142
Правообладатель: МИСиС

 
Скачать книгу в форматах fb2, epub, ios.epub, pdf, txt.

Скачать файл...
  Читать эту книгу сначала читать книгу онлайн
Продолжить чтение книги с последнего места продолжить чтение online  

Отзывы о книге, мнения





Добавить отзыв, комментарий.

   
Библиотека aunua.ru